青島福潤(rùn)德微電子企業(yè)產(chǎn)品簡(jiǎn)介

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1、青島福潤(rùn)德微電子設(shè)備有限公司青島福潤(rùn)德微電子設(shè)備有限公司QingdaoFurundeMicro-ElectronicEquipmentCo,.Ltd企業(yè)產(chǎn)品簡(jiǎn)介公司簡(jiǎn)介青島福潤(rùn)德微電子設(shè)備有限公司青島福潤(rùn)德微電子設(shè)備有限公司坐落在青島市城陽(yáng)區(qū)青大工業(yè)園，交通便利，環(huán)境優(yōu)美,距離流亭國(guó)際機(jī)場(chǎng)僅五公里,現(xiàn)有廠房面積2000余平方米，固定資產(chǎn)800萬(wàn)元，共有員工50余人，工程技術(shù)人員10余人。是一批具有豐富技術(shù)經(jīng)驗(yàn)和敬業(yè)精神的優(yōu)秀團(tuán)隊(duì)所組成,是我國(guó)微電子專(zhuān)用設(shè)備定點(diǎn)生產(chǎn)廠家之一,中國(guó)半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備行業(yè)協(xié)會(huì)理事

2、單位,在國(guó)內(nèi)外享有盛譽(yù)，為國(guó)家863計(jì)劃做出重大貢獻(xiàn)。青島福潤(rùn)德微電子設(shè)備有限公司是一家集控制技術(shù)、真空技術(shù)、熱工技術(shù)為一體的高新技術(shù)企業(yè)。目前的主要產(chǎn)品有：太陽(yáng)能擴(kuò)散爐、程控高低溫?cái)U(kuò)散爐、微控高低溫?cái)U(kuò)散爐、低壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備，真空燒結(jié)爐、氫氣爐、鏈?zhǔn)綗Y(jié)爐、隧道爐、LED專(zhuān)用合金爐、LED專(zhuān)用交換爐、高精度智能溫度控制儀和替代進(jìn)口的擴(kuò)散爐爐體及采用德國(guó)技術(shù)生產(chǎn)的渦街流量計(jì)，同時(shí)承接各種微電子生產(chǎn)線及進(jìn)口半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備的翻新改造工作。“以人為本，欲做生意，先學(xué)做人”的立廠之根，和“以客戶(hù)至上，質(zhì)量第一

3、，服務(wù)無(wú)止境”的立廠之本，堅(jiān)持產(chǎn)品設(shè)計(jì)和服務(wù)質(zhì)量的持續(xù)發(fā)展，青島福潤(rùn)德會(huì)不斷創(chuàng)新，提高核心競(jìng)爭(zhēng)力，以高品質(zhì)的產(chǎn)品、優(yōu)質(zhì)的售后服務(wù)、合理的價(jià)格與新老客戶(hù)真誠(chéng)合作。青島福潤(rùn)德微電子設(shè)備有限公司產(chǎn)品目錄產(chǎn)品介紹-1微控?cái)U(kuò)散爐-----第4頁(yè)產(chǎn)品介紹-2程控?cái)U(kuò)散爐-----第6頁(yè)產(chǎn)品介紹-3氧化擴(kuò)散爐-----第8頁(yè)產(chǎn)品介紹-4氣氛隧道爐-----第10頁(yè)產(chǎn)品介紹-5真空合金爐-----第12頁(yè)產(chǎn)品介紹-6真空退火爐-----第14頁(yè)產(chǎn)品介紹-7井式真空爐-----第16頁(yè)產(chǎn)品介紹-8LED合金爐-----第1

4、8頁(yè)產(chǎn)品介紹-9LPCVD設(shè)備-----第20頁(yè)產(chǎn)品介紹-10PECVD設(shè)備-----第22頁(yè)產(chǎn)品介紹-11太陽(yáng)能擴(kuò)散爐---第24頁(yè)產(chǎn)品介紹-12快速燒結(jié)爐-----第26頁(yè)產(chǎn)品介紹-13氫氣爐---------第28頁(yè)產(chǎn)品介紹-14控制系統(tǒng)-------第30頁(yè)產(chǎn)品介紹-15爐體-----------第32頁(yè)產(chǎn)品介紹-16隔熱環(huán)---------第34頁(yè)青島福潤(rùn)德微電子設(shè)備有限公司產(chǎn)品介紹-1---微控?cái)U(kuò)散爐擴(kuò)散爐主要滿足半導(dǎo)體電力電子器件行業(yè)、大功率集成電路等行業(yè)，對(duì)所加工硅片進(jìn)行擴(kuò)散、氧化、退火

5、、合金等工藝。主要由擴(kuò)散爐加熱爐體、氣源系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、超凈化操作系統(tǒng)等組成。選用工控機(jī)微控方式或者程控方式操作。擴(kuò)散爐技術(shù)指標(biāo)：可處理硅片尺寸：2—8英寸外型形式：臥式1—4管結(jié)構(gòu)工作溫度：200℃—1300℃恒溫區(qū)長(zhǎng)度及精度：200mm—1100mm≤±0.5℃單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性、重復(fù)性：≤±1℃/24h溫度斜變：可控升溫速率15℃／min，可控降溫速率：5℃／min送片裝置：全自動(dòng)懸臂推拉舟、拉桿式推拉舟、手動(dòng)推拉氣路系統(tǒng)：1—5路工藝氣體／管氣體控制：全自動(dòng)MFC、手動(dòng)浮子流量計(jì)控制方式：工控機(jī)、觸

6、摸屏青島福潤(rùn)德微電子設(shè)備有限公司產(chǎn)品介紹-1---微控?cái)U(kuò)散爐青島福潤(rùn)德微電子設(shè)備有限公司產(chǎn)品介紹-2---程控?cái)U(kuò)散爐擴(kuò)散爐主要滿足半導(dǎo)體電力電子器件行業(yè)、大功率集成電路等行業(yè)，對(duì)所加工硅片進(jìn)行擴(kuò)散、氧化、退火、合金等工藝。主要由擴(kuò)散爐加熱爐體、氣源系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、超凈化操作系統(tǒng)等組成。選用工控機(jī)微控方式或者程控方式操作。擴(kuò)散爐技術(shù)指標(biāo)：可處理硅片尺寸：2—8英寸外型形式：臥式1—4管結(jié)構(gòu)工作溫度：200℃—1300℃恒溫區(qū)長(zhǎng)度及精度：200mm—1100mm≤±0.5℃單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性、重復(fù)性：≤±1℃／

7、24h溫度斜變：可控升溫速率15℃／min，可控降溫速率：5℃／min送片裝置：全自動(dòng)懸臂推拉舟、拉桿式推拉舟、手動(dòng)推拉氣路系統(tǒng)：1—5路工藝氣體／管氣體控制：全自動(dòng)MFC、手動(dòng)浮子流量計(jì)控制方式：工控機(jī)、觸摸屏青島福潤(rùn)德微電子設(shè)備有限公司產(chǎn)品介紹-2---程控?cái)U(kuò)散爐青島福潤(rùn)德微電子設(shè)備有限公司產(chǎn)品介紹-3---氧化擴(kuò)散爐擴(kuò)散爐性能特點(diǎn)：◆具有可編程的升、降溫功能◆采用濾波器、屏蔽板等裝置，有效解決電網(wǎng)、磁場(chǎng)的干擾◆windowsxp全中文視窗操作系統(tǒng)，可儲(chǔ)存1000條曲線，每條曲線設(shè)置30步◆自動(dòng)運(yùn)行

8、中可暫停／繼續(xù)運(yùn)行功能◆智能升降溫斜率控制功能◆PlD參數(shù)自整定功能，可存儲(chǔ)多組PlD參數(shù)供系統(tǒng)運(yùn)行調(diào)用功能◆系統(tǒng)故障的檢測(cè)與報(bào)警功能、系統(tǒng)誤差修正(單點(diǎn)或多點(diǎn)動(dòng)態(tài)修正功能)◆具有停電后斷點(diǎn)繼續(xù)運(yùn)行功能◆點(diǎn)火方式：外點(diǎn)火、內(nèi)點(diǎn)火青島福潤(rùn)德微電子設(shè)備有限公司產(chǎn)品介紹-3---氧化擴(kuò)散爐青島福潤(rùn)德微電子設(shè)備有限公司產(chǎn)品介紹-4---氣氛保護(hù)隧道爐主要用于集成電路、電力電子器件等在氫氣、氮?dú)狻⒒驓涞旌蠚怏w的保護(hù)下進(jìn)行焊接、封裝、烘干等。主要技術(shù)