青島福潤德微電子企業(yè)產品簡介

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1、青島福潤德微電子設備有限公司青島福潤德微電子設備有限公司QingdaoFurundeMicro-ElectronicEquipmentCo,.Ltd企業(yè)產品簡介公司簡介青島福潤德微電子設備有限公司青島福潤德微電子設備有限公司坐落在青島市城陽區(qū)青大工業(yè)園，交通便利，環(huán)境優(yōu)美,距離流亭國際機場僅五公里,現有廠房面積2000余平方米，固定資產800萬元，共有員工50余人，工程技術人員10余人。是一批具有豐富技術經驗和敬業(yè)精神的優(yōu)秀團隊所組成,是我國微電子專用設備定點生產廠家之一,中國半導體專用設備行業(yè)協會理事

2、單位,在國內外享有盛譽，為國家863計劃做出重大貢獻。青島福潤德微電子設備有限公司是一家集控制技術、真空技術、熱工技術為一體的高新技術企業(yè)。目前的主要產品有：太陽能擴散爐、程控高低溫擴散爐、微控高低溫擴散爐、低壓化學氣相沉積設備，真空燒結爐、氫氣爐、鏈式燒結爐、隧道爐、LED專用合金爐、LED專用交換爐、高精度智能溫度控制儀和替代進口的擴散爐爐體及采用德國技術生產的渦街流量計，同時承接各種微電子生產線及進口半導體專用設備的翻新改造工作?！耙匀藶楸?，欲做生意，先學做人”的立廠之根，和“以客戶至上，質量第一

3、，服務無止境”的立廠之本，堅持產品設計和服務質量的持續(xù)發(fā)展，青島福潤德會不斷創(chuàng)新，提高核心競爭力，以高品質的產品、優(yōu)質的售后服務、合理的價格與新老客戶真誠合作。青島福潤德微電子設備有限公司產品目錄產品介紹-1微控擴散爐-----第4頁產品介紹-2程控擴散爐-----第6頁產品介紹-3氧化擴散爐-----第8頁產品介紹-4氣氛隧道爐-----第10頁產品介紹-5真空合金爐-----第12頁產品介紹-6真空退火爐-----第14頁產品介紹-7井式真空爐-----第16頁產品介紹-8LED合金爐-----第1

4、8頁產品介紹-9LPCVD設備-----第20頁產品介紹-10PECVD設備-----第22頁產品介紹-11太陽能擴散爐---第24頁產品介紹-12快速燒結爐-----第26頁產品介紹-13氫氣爐---------第28頁產品介紹-14控制系統(tǒng)-------第30頁產品介紹-15爐體-----------第32頁產品介紹-16隔熱環(huán)---------第34頁青島福潤德微電子設備有限公司產品介紹-1---微控擴散爐擴散爐主要滿足半導體電力電子器件行業(yè)、大功率集成電路等行業(yè)，對所加工硅片進行擴散、氧化、退火

5、、合金等工藝。主要由擴散爐加熱爐體、氣源系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、超凈化操作系統(tǒng)等組成。選用工控機微控方式或者程控方式操作。擴散爐技術指標：可處理硅片尺寸：2—8英寸外型形式：臥式1—4管結構工作溫度：200℃—1300℃恒溫區(qū)長度及精度：200mm—1100mm≤±0.5℃單點溫度穩(wěn)定性、重復性：≤±1℃/24h溫度斜變：可控升溫速率15℃／min，可控降溫速率：5℃／min送片裝置：全自動懸臂推拉舟、拉桿式推拉舟、手動推拉氣路系統(tǒng)：1—5路工藝氣體／管氣體控制：全自動MFC、手動浮子流量計控制方式：工控機、觸

6、摸屏青島福潤德微電子設備有限公司產品介紹-1---微控擴散爐青島福潤德微電子設備有限公司產品介紹-2---程控擴散爐擴散爐主要滿足半導體電力電子器件行業(yè)、大功率集成電路等行業(yè)，對所加工硅片進行擴散、氧化、退火、合金等工藝。主要由擴散爐加熱爐體、氣源系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、超凈化操作系統(tǒng)等組成。選用工控機微控方式或者程控方式操作。擴散爐技術指標：可處理硅片尺寸：2—8英寸外型形式：臥式1—4管結構工作溫度：200℃—1300℃恒溫區(qū)長度及精度：200mm—1100mm≤±0.5℃單點溫度穩(wěn)定性、重復性：≤±1℃／

7、24h溫度斜變：可控升溫速率15℃／min，可控降溫速率：5℃／min送片裝置：全自動懸臂推拉舟、拉桿式推拉舟、手動推拉氣路系統(tǒng)：1—5路工藝氣體／管氣體控制：全自動MFC、手動浮子流量計控制方式：工控機、觸摸屏青島福潤德微電子設備有限公司產品介紹-2---程控擴散爐青島福潤德微電子設備有限公司產品介紹-3---氧化擴散爐擴散爐性能特點：◆具有可編程的升、降溫功能◆采用濾波器、屏蔽板等裝置，有效解決電網、磁場的干擾◆windowsxp全中文視窗操作系統(tǒng)，可儲存1000條曲線，每條曲線設置30步◆自動運行

8、中可暫停／繼續(xù)運行功能◆智能升降溫斜率控制功能◆PlD參數自整定功能，可存儲多組PlD參數供系統(tǒng)運行調用功能◆系統(tǒng)故障的檢測與報警功能、系統(tǒng)誤差修正(單點或多點動態(tài)修正功能)◆具有停電后斷點繼續(xù)運行功能◆點火方式：外點火、內點火青島福潤德微電子設備有限公司產品介紹-3---氧化擴散爐青島福潤德微電子設備有限公司產品介紹-4---氣氛保護隧道爐主要用于集成電路、電力電子器件等在氫氣、氮氣、或氫氮混合氣體的保護下進行焊接、封裝、烘干等。主要技術