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《溶膠凝膠法制備FTO透明導電膜》由會員上傳分享，免費在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在行業(yè)資料-天天文庫。
1、萬方數(shù)據(jù)溶膠一凝膠法制備FTO透明導電膜+賈曉林，譚偉，辛榮生，孔小霞(鄭州大學建筑工程學院．河南鄭州450052)摘要：介紹了采用溶膠一凝膠法制備sno，摻雜F的透明導電膜(簡稱FTo膜)的實驗方法，并討論了加水量、摻雜量、pH值及熱處理條件對膜可見光透過率及膜電阻率的影響。實驗表明，水：醇為0，25—1．5．F：sn為0．26～1．pH值為15，3，熱處理溫度為400一600℃，可得到透明導電性良好的FTo透明導電膜。甲酰胺可以抑制醇鹽水解，提高縮聚速率并避免薄膜干燥開裂。關(guān)鍵詞：FT0薄膜；溶膠．凝膠法；透明導電薄膜中圍分類號：TN304．055文獻
2、標識碼：A文章編號：1003．353x(2000)06．0042一03MakingofFTotransparentconductingfilmbysol-gelprocessJIAXiao·lin，TANWei，XINRong—sheng，KoNGXiao—xi8(nP』H5rff“旭o，cⅢj刪d^rc^訛c塒朋f￡n占fHPPrfH目，z^f“gz幻“uHfvf坩fm丑e”gZ^口“450052．c^fnd)Abstract：TheexperimentmethodonmakingsnO，dopingFtransparentconductingfilm(
3、simplifiedasFTO)bysol—gelprocessisintroducedinthisarticle．Theinfluenceoftheamountofwateranddopant，pHvalueandheattreatmentconditionsonthetransparencytovisiblelighandresistiVityofthefilmisalsodiscussed．TheexperimentshowsthatthehightqualityFTotransparentconduc““gfilmcanbeobtainedbyth
4、efollowingconditions：theratioofwatertoalcohol(bulk)0．25一1．5，F(xiàn)toSn0．26一l；pHvalue1．5—3andthetemper8tureofheattreatment400～600℃．Italsoshowsthatmethylamidecanrestfainthehydrolysisofalcoholsalt，increasetherateofcondensationpolymeriza-tionandkeepthefilmfromdrycrack．Keywords：FTofilm；Sol—
5、gelprocess；“ansparentconductingfilm1引言snO，是一種寬禁帶n型半導體材料，通過摻雜F、sb等不同元素，可獲得集導電性和透光性為一身的薄膜晶體。目前已廣泛應用于光電池，液晶顯示，光學記憶，太陽能收集，紅外遙感、遙測和加熱除霜等諸多方面，日益受到人們的重視”“。sn0．薄膜制各通常采用濺射法、等離子體分解沉淀、化學．汽相沉積、電子束真空蒸發(fā)法等”’?，但存在設(shè)備昂貴，工藝復雜等問題，本研究工作選用溶膠一凝膠法，以F為摻雜元素，制備出snO，透明導電膜，簡稱FTO膜。其特點為原材料低廉+本項目為河南省科學技術(shù)攻關(guān)資助項目。蛇
6、豐年僖掛術(shù)摹25
7、摹6期易得，工藝設(shè)備簡單，便于實現(xiàn)。2實驗方法2．1膠體的一魯取sncl：、H：0溶于無水乙醇中，在80℃回流3～5h，按比例緩慢滴加水與乙醇混合液，在80℃回流l～3h，調(diào)節(jié)pH值至某一需要范圍，加入甲酰胺，加入NH。F水溶液，配制好的溶液靜置24h待用a2．2涂腆夏熱處理以普通載玻片為基片，蒸餾水清洗后，用丙酮水溶液浸泡并在超聲波清洗機中清洗二ooo年十二一萬方數(shù)據(jù)10～30min．晾干后備用。將基片固定在甩膜機E，以1400r，min的轉(zhuǎn)速甩膜，然后在100℃真空干燥箱中干燥15min，再放入馬弗爐，緩慢加溫至300℃并恒溫10mi
8、n。蓖復以上甩膜過程2—4次，最終分別在400℃，450℃，500℃，550℃，600℃下處理10．20min．即制備出一系列snO，導電薄膜樣品待檢測分析。2．3樣品性麓梭舅用日本理學D，max—RB型x射線衍射儀對薄膜進行結(jié)構(gòu)分析，用JFY—cPs色差儀測量可見光透過率，用sDY一5雙探測四探引測試儀測膜電阻率．用NDJ．39旋轉(zhuǎn)粘度計測定前體溶液的粘度。3結(jié)果與討論3．1膏曩的物相分析圖l為經(jīng)不同溫度處理的薄膜的xRD譜，其與單晶snO，薄膜的特征峰相符。O203040506020，度圖lsno：薄膜的xRD譜圖中sno。峰隨熱處理溫度升高變窄，衍射
9、峰的強度增加，這表明薄膜的平均粒度隨熱處理溫度的升高而增大。3．2
