微型傳感器的由來及發(fā)展趨勢分析.doc

《微型傳感器的由來及發(fā)展趨勢分析.doc》由會員上傳分享，免費在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在學(xué)術(shù)論文-天天文庫。

1、微型傳感器的由來及發(fā)展趨勢分析　?、啪蛦我粋鞲衅鞫裕鞲衅魇侵赋叽缥⑿〉膫鞲衅?，如敏感元件的尺寸從微米級到毫米級、甚至達(dá)到納米級，主要采用精密加工、微電子以及微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)，實現(xiàn)傳感器尺寸的縮小?！　、凭图傻膫鞲衅鞫?，微傳感器是指將微小的敏感元件、信號處理器、數(shù)據(jù)處理裝置封裝在一塊芯片上而形成的集成的傳感器?！　、蔷蛡鞲衅飨到y(tǒng)而言，微傳感器是指傳感系統(tǒng)中不但包括微傳感器，還包括微執(zhí)行器，可以獨立工作，甚至由多個微傳感器組成傳感器網(wǎng)絡(luò)，或者可實現(xiàn)異地聯(lián)網(wǎng)。　　　　微型傳感器基于從半導(dǎo)體集成電路技術(shù)發(fā)展而來的MEMS（微電子機(jī)械系統(tǒng)），微型傳感器利用微機(jī)械加工技術(shù)將微米級的敏感

2、元件、信號處理器、數(shù)據(jù)處理裝置封裝在一快芯片上，由于具有體積小、價格便宜、便于集成等特點，可以明顯提高系統(tǒng)測試精度。目前該技術(shù)日漸成熟，可以制作各種能敏感和檢測力學(xué)量、磁學(xué)量、熱學(xué)量、化學(xué)量和生物量的微型傳感器。由于基于MEMS技術(shù)的微型傳感器在降低汽車電子系統(tǒng)成本及提高其性能方面的優(yōu)勢，它們已開始逐步取代基于傳統(tǒng)機(jī)電技術(shù)的傳感器?！　?.以MEMS傳感器為發(fā)展重點由于汽車電子控制系統(tǒng)的多樣化，所用傳感器的種類和數(shù)量不斷增加，對傳感器的微型化、智能化、多功能化和集成化提出迫切需求。MEMS因具有精度高、體積小、價格低、工作壽命長、易集成、適合量產(chǎn)等特點而獲重點發(fā)展，并已占據(jù)汽車傳感

3、器市場的主要份額，如MEMS傳感器可通過微納加工工藝實現(xiàn)傳統(tǒng)傳感器的微型化，已大范圍取代傳統(tǒng)的機(jī)械式、應(yīng)變片式、滑動電位器等傳感器;可在同一襯底上與其他多個MEMS傳感器多功能集成;可通過與信息處理和控制芯片的集成實現(xiàn)自診斷、多參數(shù)混合測量、誤差補(bǔ)償?shù)戎悄芑δ埽捎行Эs小整體體積、降低系統(tǒng)功耗、提高可靠性。????2.動力驅(qū)動系統(tǒng)用傳感器注重節(jié)能減排動力驅(qū)動系統(tǒng)主要包括發(fā)動機(jī)和底盤管理系統(tǒng)，使用的傳感器主要有流量傳感器、壓力傳感器（進(jìn)氣壓力、氣缸壓力、大氣壓、油壓等）、溫度傳感器（空氣、水、潤滑油等）、爆震傳感器、曲軸傳感器、氣體濃度傳感器、節(jié)氣門位置傳感器、怠速傳感器、懸架系統(tǒng)

4、傳感器，以及在自動變速箱中的車輪速傳感器、發(fā)動機(jī)轉(zhuǎn)速傳感器和油門踏板位置傳感器等。發(fā)動機(jī)的電子控制單元根據(jù)傳感器提供的信息對發(fā)動機(jī)的各項工況進(jìn)行準(zhǔn)確控制，從而提高發(fā)動機(jī)的動力性、可維護(hù)性，降低油耗和減輕排放。由于工作環(huán)境惡劣，動力驅(qū)動系統(tǒng)用傳感器比一般工業(yè)用傳感器的精度和可靠性均高出1～2個數(shù)量級。????3.安全管理系統(tǒng)用傳感器轉(zhuǎn)向主動安全隨著技術(shù)不斷發(fā)展，汽車安全管理系統(tǒng)的目標(biāo)已從被動防御轉(zhuǎn)向主動保護(hù)。目前在用的安全管理系統(tǒng)，如安全氣囊系統(tǒng)、胎壓監(jiān)測系統(tǒng)、防抱死制動系統(tǒng)（ABS）、電子制動力分配（EBD）系統(tǒng)、先進(jìn)駕駛輔助系統(tǒng)（ADAS）、夜視系統(tǒng)等，都使用了大量的傳感器，采集

5、的信息包括汽車各個方向的加速度、胎壓、制動踏板位置、碰撞壓力、接近警告等。這類傳感器是近年汽車應(yīng)用領(lǐng)域創(chuàng)新最活躍的部分。????4.舒適系統(tǒng)用傳感器重在提升駕乘體驗隨著人們對駕乘舒適性和愉悅性要求的不斷提升，除了傳統(tǒng)的空調(diào)溫濕度、車內(nèi)煙霧檢測、車椅調(diào)節(jié)、底盤調(diào)節(jié)、車窗調(diào)節(jié)和承重傳感器外，定速巡航、導(dǎo)航、環(huán)境感知、車輛防盜、汽車燈光檢測等各類新應(yīng)用大量涌現(xiàn)，直接推動了車速傳感器、陀螺儀、羅盤傳感器、紅外報警傳感器、光電池傳感器等的發(fā)展。這類傳感器隨著汽車人性化發(fā)展需求，具備最大發(fā)展?jié)摿Α?/p>