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《掃描電鏡(Quanta200FEG)操作規(guī)程.doc》由會(huì)員上傳分享，免費(fèi)在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在行業(yè)資料-天天文庫。
1、環(huán)境掃描電鏡（Quanta200FEG）操作規(guī)程一．在Standby狀態(tài)時(shí)：1．確認(rèn)Chiller的水溫、水壓及Aircompressor的氣壓正常；2．開啟顯示器；3．開啟電鏡控制器（主機(jī)），進(jìn)入Windows2000操作系統(tǒng)，在提示下輸入用戶名及密碼并確認(rèn)；4．按下鏡筒前面板上的綠色按鈕，亮為開啟狀態(tài)；5．在Windows2000操作界面下，鼠標(biāo)左鍵雙擊“XTMicroscopeServer”圖標(biāo)，進(jìn)入Server界面；6．等待Gun&Vacuum、Optics、Motion及Imaging等四個(gè)信號(hào)燈全都
2、變綠以后，鼠標(biāo)左鍵單擊“Start”，使系統(tǒng)開始進(jìn)行初始化。待操作界面（UI）出現(xiàn)后，鼠標(biāo)左鍵單擊XTMicroscopeServer界面右上角的“×”將該界面最小化至Windows2000操作界面的右下角（雙擊綠色近圓形圖標(biāo)可將其再次打開）；7．根據(jù)提示，輸入用戶名及相應(yīng)的密碼并確認(rèn)，然后做“HomeStage”；8．確認(rèn)GunPressure正常（≤3e-7Pa）后，鼠標(biāo)左鍵單擊操作界面右上角的“Alignments”按鈕，打開下拉菜單，選“5-EmitterControl”，鼠標(biāo)左鍵依次單擊“Start”
3、、“Next”、“EmitterON”等，以點(diǎn)燃燈絲。這過程約需40分鐘，然后鼠標(biāo)左鍵單擊Finish以結(jié)束該過程。待EmissionCurrent的數(shù)值穩(wěn)定后（大約需要2-10小時(shí)）可以進(jìn)行下一步的工作。二．在Overnight狀態(tài)時(shí)：1．確認(rèn)水溫水壓及氣壓正常；2．拉開樣品室門，放入測(cè)試樣品，用專用規(guī)尺測(cè)量樣品的高度，一般應(yīng)在10mm刻度線以下；3．輕輕關(guān)緊樣品室門，同時(shí)須注意樣品上表面與極靴要有一定距離，鼠標(biāo)左鍵單擊“Pump”，使樣品室抽真空（這時(shí)真空信號(hào)指示燈由紅變黃）；4．當(dāng)真空信號(hào)指示燈由黃變綠后
4、，可以加高壓開始測(cè)試（為保護(hù)TMP，一般應(yīng)到5e-3Pa以后再加高壓）。選擇合適的高壓（HighVoltage）及束斑（SpotSize）；5．按住鼠標(biāo)右鍵調(diào)聚焦，然后鼠標(biāo)左鍵單擊“CoupleZtoFWD”，建立Z軸高度與焦距的關(guān)聯(lián)（需在由低至高的不同放大倍率下反復(fù)多次）；6．選擇合適的對(duì)比度和亮度和觀察區(qū)域，反復(fù)聚焦及消像散（一般在3000倍以下不須要消像散）。圖像調(diào)節(jié)滿意后，改用適當(dāng)?shù)膾呙杷俣群拖袼氐玫讲鼋Y(jié)圖像，然后存儲(chǔ)或打印。7．觀察結(jié)束或暫停工作時(shí)，應(yīng)關(guān)閉關(guān)高壓；8．鼠標(biāo)左鍵單擊“Vent”，待真空
5、信號(hào)指示燈變紅后，可以打開樣品室更換試樣。平時(shí)樣品室保持關(guān)閉；9．注意：不要在ESEM或LowVacuum狀態(tài)下使樣品室抽真空過夜。三．進(jìn)入Overnight狀態(tài)：1．關(guān)閉高壓；2．根據(jù)工作模式?jīng)Q定是否將樣品室放氣；3．關(guān)閉顯示器。四．進(jìn)入Standby狀態(tài)：1．關(guān)閉高壓；2．關(guān)閉TMP及PVP（鼠標(biāo)左鍵單擊“Vent”）；3．關(guān)閉燈絲（鼠標(biāo)左鍵單擊操作界面右上角的“Alignments”按鈕，打開下拉菜單，選“5-EmitterControl”，鼠標(biāo)左鍵依次單擊“Start”、“Next”、“EmitterO
6、FF”等）；4．關(guān)閉ColumnControl（雙擊操作界面右下角的綠色近圓形圖標(biāo)將Server打開，鼠標(biāo)左鍵單擊“ShutDown”）；5．退出XTMicroscopeServer（鼠標(biāo)右鍵單擊操作界面右下角的綠色近圓形圖標(biāo)拉開菜單，選ExitxTmicroscopeSever）；6．在Windows2000界面下關(guān)閉電鏡控制器；7．關(guān)閉顯示器。
