kyky2800b掃描電鏡操作規(guī)程

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1、KYKY2800B掃描電鏡操作規(guī)程??一、開機操作1、?接通水源后開總電源2、?將真空后板的自動/手動開關打到自動3、?開機械泵、壓縮機4、?開真空電源vacuumpower,并按一下準備開關standby,準備燈亮5、?待30分鐘后，按一下準備開關，燈滅。6、?6-30分鐘以后才可看像二、觀察圖像1、?開電腦電源，打開電鏡操作軟件2、?開電器柜電源，放大倍數(shù)顯示149×，off3、?拉開V1，聽到卡嗒聲4、?調(diào)節(jié)亮度5、?調(diào)節(jié)對比度在130-1506、?逐步加高壓至20-25KV7、?加燈絲電壓至6-7V左右，束流表讀數(shù)在80-90左右8、?調(diào)聚光鏡，使

2、束斑尺寸在512-6009、?調(diào)工作距離在11-1210、調(diào)放大倍數(shù)、電對中，消除像散，選擇掃描區(qū)域等三、關機操作1、?關燈絲電壓至02、?關高壓至off3、?關對比度至04、?關V15、?按一下準備開關，燈亮6、?將真空后板的自動/手動開關打到手動7、?過半小時關電源，按下準備開關，關機械泵，切斷總電源，關水四、電鏡操作注意事項1、?開、關機必須有30分鐘準備過程，開機前先開水，關機后再關水，中途不能斷水2、?加高壓步距要小，加燈絲偏壓不能過飽和，以保護燈絲3、?真空度未達要求前V1決不能打開4、?真空控制方式從手動轉(zhuǎn)自動時，要特別注意每個手動閥門須為關

3、閉狀態(tài)5、?在未進入高真空之前，決不能接通探測器高壓、電子槍高壓及燈絲電壓6、?不要在關控制臺電源的同時，立刻放氣到樣品室和電子槍，以免損壞燈絲和閃爍體7、?鏡筒部分未放氣，不能拔掉光欄桿8、在關控制臺電源之前，一定要先關上V1，否則會損壞顯象管