kyky2800b掃描電鏡操作規(guī)程

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1、KYKY2800B掃描電鏡操作規(guī)程??一、開機(jī)操作1、?接通水源后開總電源2、?將真空后板的自動(dòng)/手動(dòng)開關(guān)打到自動(dòng)3、?開機(jī)械泵、壓縮機(jī)4、?開真空電源vacuumpower,并按一下準(zhǔn)備開關(guān)standby,準(zhǔn)備燈亮5、?待30分鐘后，按一下準(zhǔn)備開關(guān)，燈滅。6、?6-30分鐘以后才可看像二、觀察圖像1、?開電腦電源，打開電鏡操作軟件2、?開電器柜電源，放大倍數(shù)顯示149×，off3、?拉開V1，聽到卡嗒聲4、?調(diào)節(jié)亮度5、?調(diào)節(jié)對(duì)比度在130-1506、?逐步加高壓至20-25KV7、?加燈絲電壓至6-7V左右，束流表讀數(shù)在80-90左右8、?

2、調(diào)聚光鏡，使束斑尺寸在512-6009、?調(diào)工作距離在11-1210、調(diào)放大倍數(shù)、電對(duì)中，消除像散，選擇掃描區(qū)域等三、關(guān)機(jī)操作1、?關(guān)燈絲電壓至02、?關(guān)高壓至off3、?關(guān)對(duì)比度至04、?關(guān)V15、?按一下準(zhǔn)備開關(guān)，燈亮6、?將真空后板的自動(dòng)/手動(dòng)開關(guān)打到手動(dòng)7、?過半小時(shí)關(guān)電源，按下準(zhǔn)備開關(guān)，關(guān)機(jī)械泵，切斷總電源，關(guān)水四、電鏡操作注意事項(xiàng)1、?開、關(guān)機(jī)必須有30分鐘準(zhǔn)備過程，開機(jī)前先開水，關(guān)機(jī)后再關(guān)水，中途不能斷水2、?加高壓步距要小，加燈絲偏壓不能過飽和，以保護(hù)燈絲3、?真空度未達(dá)要求前V1決不能打開4、?真空控制方式從手動(dòng)轉(zhuǎn)自動(dòng)時(shí)，要特

3、別注意每個(gè)手動(dòng)閥門須為關(guān)閉狀態(tài)5、?在未進(jìn)入高真空之前，決不能接通探測(cè)器高壓、電子槍高壓及燈絲電壓6、?不要在關(guān)控制臺(tái)電源的同時(shí)，立刻放氣到樣品室和電子槍，以免損壞燈絲和閃爍體7、?鏡筒部分未放氣，不能拔掉光欄桿8、在關(guān)控制臺(tái)電源之前，一定要先關(guān)上V1，否則會(huì)損壞顯象管