【5A版】特殊氣體供應系統(tǒng).ppt

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1、特殊氣體介紹Pressureunit:（壓力單位）psig—表壓，psia—絕對壓力psia=psig+14.71bar=105Pa=1.0197Kg/cm2=14.504psi=0.987atm1atm=14.7psiFlowrateunit:（流量單位）sccm—毫升/分鐘slpm—升/分鐘1slpm=1000sccmS表示標準狀態(tài)，即：1大氣壓，20℃。Weightunit:（重量單位）1Kg=2.2Lbs壓力/重量單位化學品及企業(yè)標識:化學品名稱,企業(yè)名稱,企業(yè)應急電話等危險性概述:危險性類別(8大

2、類)，侵入途徑，健康危害等急救措施:皮膚接觸，眼睛接觸，吸入等消防措施:危險特性，有害燃燒產(chǎn)物，滅火方法及滅火劑，滅火注意事項等泄露應急處理:應急處理和消除方法等操作處置與儲存:操作注意事項，儲存注意事項等接觸控制/個體防護:最高容許濃度TLV，呼吸系統(tǒng)防護,眼睛防護，身體防護等理化特性:PH值，沸點（℃），相對蒸氣密度（空氣=1）等廢棄處置：廢棄物性質(zhì)，廢棄處置方法，廢棄注意事項等法規(guī)信息：國內(nèi)化學品安全管理法規(guī)，國際法規(guī)等MSDS—物質(zhì)安全資料表SMIC的特殊氣體分為四種:惰性氣體毒性氣體腐蝕性氣體可燃

3、性/毒性氣體氣體的定義在SMIC總共有41種特殊氣體:14種惰性氣體CF4,CHF3,C4F8,C2F6,SF6,CO2,C3F8,0.5%O2/He,20%O2/N2,30%O2/He,1.2%Kr/Ne,1.2%He/N2,100ppmXe/Ar/Ne,99.5%He/N26種毒性氣體SiH4,1%PH3/N2,1%PH3/H2,CO,0.7%AsH3/H2，B2H68種腐蝕性氣體ClF3,NH3,SiF4,HCl,Cl2,HBr,0.9%F2/1.2%Kr/Ne,0.9%F2/3.5%Ar/Ne10種

4、可燃性/毒性氣體NO,SiH2Cl2(DCS),N2O,NF3,10%CH4/Ar,CH3F,CH2F2,C4F6,4%H2/N2,5%H2/He,CH4Sub-Fab(腐蝕性)—C5F8,BCl3和WF6氣體的定義氣體房包括CQC(連續(xù)質(zhì)量控制)房,純化器房,惰性氣體房,毒性氣體房,腐蝕性氣體房和可燃性/毒性氣體房.氣體房布置圖如附件:氣體房布置圖特殊氣體通過氣瓶柜輸送到特殊氣體分配器—VMB/VMP,然后送到機臺端給制程用特使氣體供應系統(tǒng)包括3部分:氣瓶柜—氣體供應的源頭,供應穩(wěn)定壓力的氣體VMB/VM

5、P—氣體分配器,裝有閥門來控制每一路氣體管道機臺—特殊氣體的最終用戶特使氣體供應系統(tǒng)G/C氣瓶柜VMB/VMPTools機臺1stFloorGasRoom1樓氣體房2ndFloorSub-Fab2樓次潔凈室3rdFloorCleanRoom3樓潔凈室特殊氣體供應流程圖氣體房FAB1特氣氣瓶柜氣瓶柜流程圖(AirLiquid)所有氣瓶柜在零中斷的情況下自動切換,在緊急情況下會自動停止供氣.我們也可在必要條件下手動操作氣瓶柜.氣瓶柜對高壓的氣體,我們使用壓力傳感器來監(jiān)測氣瓶內(nèi)氣體的狀況.當氣瓶壓力達到低設定時,

6、氣瓶會從一側切到另一側,同時也會釋放出警報.當送氣壓力達到低設定時,氣瓶也會從一側切到另一側.氣瓶柜對液態(tài)的氣體,我們用磅秤來監(jiān)測氣瓶內(nèi)氣體的狀況.當氣瓶壓力達到低設定時,氣瓶會從一側切到另一側,同時也會釋放出警報.當磅秤出現(xiàn)問題時,氣瓶也會根據(jù)氣瓶壓力的狀況從一側切到另一側.氣瓶柜FAB2BSGS大宗特殊氣體供應包括:CO2,C2F6,N2O,NF3,SiH4Y氣瓶供應包括:CO2,C2F6,N2O氣瓶組供應包括:NF3,SiH4FAB2大宗特殊氣體供應簡介大宗特殊氣體供應----Y氣瓶大宗特殊氣體供應-

7、---氣瓶組在SMIC,共有6種氣體需要安裝雙套管:SiH4,CO,1%PH3/N2,1%PH3/H2,0.7%AsH3/H2,ClF3因此類氣體比其它的氣體更具危險性,所以我們使用雙套管來確保安全.針對ClF3這種特氣,因為需要加熱,但真空是絕熱的,所以我們在內(nèi)外套管之間通入70psi的PN2來傳熱.特殊氣體–雙套管雙層管示意圖通常,在雙套管的中央應保持負壓.我們在雙套管的中央安裝一塊壓力表,當壓力表的壓力上升時,說明內(nèi)管中的真實氣體有泄漏.特殊氣體–雙套管特殊氣體供應系統(tǒng)介紹由于WF6和ClF3這二種氣

8、體的腐蝕性特強，如果在新的管路中注入純度很高的這類氣體，它們會破壞管路的內(nèi)表面。所以，我們先用N2和它們進行混合后，再注入管路中，讓新的管路適應這類氣體后再正式使用，這就是需要做鈍化的原因。VMBVMB真實氣體在排放到中央排氣系統(tǒng)之前,需要進廢氣處理裝置進行處理.在SMIC氣體房,我們使用吸收式廢氣處理裝置來處理廢氣.廢氣處理裝置