掃描電鏡操作規(guī)程

《掃描電鏡操作規(guī)程》由會(huì)員上傳分享，免費(fèi)在線閱讀，更多相關(guān)內(nèi)容在應(yīng)用文檔-天天文庫。

1、掃描電鏡操作規(guī)程一、開機(jī)（電源開關(guān)和準(zhǔn)備開關(guān)均為打開狀態(tài)）1、開水(系統(tǒng)不報(bào)警方可)；2、開總電源；3、電氣柜后面開關(guān)打開，將自動(dòng)/手動(dòng)（AUTO/MAN）開關(guān)拔到自動(dòng)（AUTO）的位置，此時(shí)電爐進(jìn)行加熱；4、抽真空30分鐘后，斷開準(zhǔn)備開關(guān)；5、開系統(tǒng)軟件；6。、打開主機(jī)前面面板上的電氣柜開關(guān)（CONSOLEPOWER），抽真空10分鐘。二、準(zhǔn)備觀測(cè)圖像1、打開V1閥，此時(shí)鏡筒真空已準(zhǔn)備好，用左手延徑水平方向拉開V1閥，閥桿下面的彈片將V1閥固定在打開位置；2、加高壓（30KV）導(dǎo)電性不好的產(chǎn)品

2、（20-25KV），加高壓時(shí)最好按著每步的速度逐步增加，如果長(zhǎng)按按鈕，高壓會(huì)連續(xù)快速增加，不容易控制到要求的數(shù)值；3、調(diào)節(jié)對(duì)比度和亮度：①調(diào)節(jié)對(duì)比度，使圖像上出現(xiàn)一些噪聲為最佳，一般情況下在60左右；②調(diào)節(jié)圖像亮度，使屏幕顯示的灰度合適，一般情況下，相應(yīng)的數(shù)字參數(shù)值為0-20左右；4、加燈絲：順時(shí)針慢慢旋轉(zhuǎn)燈絲加熱旋鈕，直至發(fā)射束流飽和，燈絲加熱旋鈕指示正常在6-7之間，調(diào)節(jié)偏壓束流為100uA左右；5、機(jī)械對(duì)中：每次換燈絲后需旋轉(zhuǎn)鏡筒頭上的三個(gè)螺釘，使圖像顯示到最清楚的點(diǎn)；6、物鏡光闌對(duì)中（合

3、軸）：①選區(qū)，并挑選圖像上的一個(gè)特征點(diǎn)；②選擇放大倍數(shù)1000-2000范圍；③反復(fù)調(diào)節(jié)粗調(diào)，使圖像聚焦至不聚焦往反進(jìn)行，觀察圖像的移動(dòng)；④調(diào)節(jié)物鏡光闌的兩個(gè)螺鈕，使圖像不發(fā)生位移或圖像移動(dòng)最小為止；7、像散消除：選擇“選區(qū)”位置，從放大倍數(shù)1000倍開始消像散，增加到欲觀察的放大倍數(shù)下再次消像散直至圖像沒有拉長(zhǎng)現(xiàn)象；8、拍照、保存。三、系統(tǒng)停機(jī)1、關(guān)閉加熱燈絲：逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)燈絲加熱旋鈕到底，旋鈕標(biāo)記指示在“ON”的位置，束流顯示的束流為0UA；2、將對(duì)比度降至最低，使其數(shù)字參數(shù)值為0，關(guān)閉高壓，

4、使其數(shù)字參數(shù)值為0；3、關(guān)閉V1閥：用左手將V1閥閥桿下面的彈片沿上按在閥桿上，用手掌徑向水平推V1閥，當(dāng)V1閥完全推到底后，再用力推一下V1閥的閥桿，確保V1閥完全關(guān)閉；4、關(guān)閉主機(jī)面板上的電氣柜開關(guān)，打開準(zhǔn)備開關(guān)，將主機(jī)后的開關(guān)自動(dòng)/手動(dòng)(AUTO)/(MAN)打到手動(dòng)(MAN)的位置，冷卻電爐30分鐘。5、關(guān)閉系統(tǒng)軟件—關(guān)電氣柜開關(guān)(后)—關(guān)總電源—關(guān)水。掃描電鏡注意事項(xiàng)1．進(jìn)入工作室嚴(yán)禁大聲喧嘩2．在真空度沒有達(dá)到要求之前，鏡筒隔離閥V1決不能打開3．在擴(kuò)散泵開始加熱二十分鐘期間，主閥V

5、5決不能打開4．真空控制方式從手動(dòng)轉(zhuǎn)自動(dòng)時(shí)，要特別注意每個(gè)手動(dòng)閥門是否為關(guān)閉狀態(tài)5．在沒有進(jìn)入高真空之前，決不能接通探測(cè)器高壓，電子槍及燈絲加熱電源6．不要在關(guān)控制臺(tái)電源（CONSOLEPOWER）的同時(shí)。立刻放氣到樣品室和電子槍，以免引起電子槍探測(cè)器上殘余高壓放電，損壞燈絲及閃爍體7．不要在通電情況下，進(jìn)行印刷板及導(dǎo)線插頭的插接8．如果鏡筒部分沒有放氣，不要拔掉物鏡光闌桿9．在樣品室放氣的情況下，不要手動(dòng)打開主閥和V1閥10．長(zhǎng)時(shí)間不使用電鏡時(shí)，每周至少保持抽真空兩次，保持機(jī)器內(nèi)真空度良好11

6、．觀察機(jī)械泵的油不少于2/312．停水的時(shí)候，機(jī)器會(huì)出現(xiàn)報(bào)警，此時(shí)將主機(jī)后面板打開，接一盆涼水，用濕布給電爐手動(dòng)降溫，直至電爐不再熱為止（30分鐘左右）最后再關(guān)閉電氣柜開關(guān)和總電源